【提要】 為對潔凈室內的污染進行控制，首先必須研究危險。研究生產過程中的風險有許多體系，例如故障分析（FTA）與故障模式與效果分析（FMEA）。“危險分析和關鍵控制點”有7個步驟，本文所提到的是所建議的體系，供參考。
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第三步：制定危害控制方法
在列出潔凈室內所有污染危害并分析了其危險程度后，必須審定控制方法。有效控制方法的重要性應與危險分析相關聯。危險越大，控制方法就越要有效。而且，還必須顯示出控制方法確是有效的。否則的話，就要采用更有效的控制方法，或將控制方法應用于不同的點或不同的位置。如下表潔凈室內的污染源、傳播途徑、控制與監測方法所示（表一）。
第四步：危害監測采樣法及控制法
在潔凈室運行控制中還必須設定限值，以確保對生產工藝的污染處在控制之中。以空氣為例，測量粒子和微生物已有既定的方法，可應用ISO14644-1這樣的標準來設定限值。但若由于人員與產品的接觸造成了危害，其控制措施就是戴手套，其監測就包括檢查手套的破損處，測量手套表面的粒子或微生物。
關于監測，需由以下內容組成：
采樣儀器的采樣效率。
儀器校準。
確定需要予以監測的重要的危害。
確定所使用的采樣方法都是能夠使用的最好方法，可直接測量污染危害，或直接測試控制危害的方法。
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