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科學(xué)建筑設(shè)計(jì)是潔凈生產(chǎn)重要保障（2-2）

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　　防火與疏散可因地制宜

　　對(duì)于電子工廠潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，應(yīng)按照現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》(GB50016)進(jìn)行分類。《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì) 規(guī)范》附錄中列出了電子工廠潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類的舉例。電子工廠潔凈廠房中，有使用丁酮、丙酮、異丙醇等易燃化學(xué)品的潔凈室，這些化學(xué)品均屬甲類物質(zhì)，因此將電子工廠潔凈廠房中包含這些化學(xué)品的儲(chǔ)存間、分配間列為甲類。在集成電路潔凈廠房中常常使用氫氣、硅烷等可燃、有毒氣體，它們均屬于甲類氣體，因此將電子工廠潔凈廠房中包含可燃、有毒氣體的儲(chǔ)存、分配間列為甲類。集成電路和半導(dǎo)體分立器件工廠的外延間，由于其生產(chǎn)過(guò)程中需使用氫氣、硅烷等可燃?xì)怏w，因此在現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50073)附錄A中被列為甲類。但是近年來(lái)，隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，分立器件和集成電路生產(chǎn) 所采用的外延設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造技術(shù)的不斷提高，各種氣體供應(yīng)、控制系統(tǒng)、設(shè)備和附件設(shè)計(jì)、制造技術(shù)的不斷提高，氣體報(bào)警設(shè)施的安全可靠性得到了長(zhǎng)足的進(jìn)步和提高。調(diào)查表明，分立器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備已配置有氫氣泄漏和超濃度排放報(bào)警及其連鎖控制裝置；外延間的氫氣供應(yīng)管路設(shè)有緊急切斷閥，一旦發(fā)生事故或火情時(shí)自動(dòng)切斷氫氣供應(yīng)；外延間按建筑特點(diǎn)在可能積聚氫氣處設(shè)置氫氣報(bào)警裝置和事故排風(fēng)連鎖控制裝置等安全措施。因此，《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè) 計(jì)規(guī)范》規(guī)定，在具備上述安全技術(shù)措施的條件下，宜將半導(dǎo)體分立器件和集成電路生產(chǎn)等所使用的外延間列為丙類。

　　防火分區(qū)是采用具有一定耐火性能的分隔構(gòu)件劃分的，能在一定時(shí)間內(nèi)防止火災(zāi)向同一建筑物的^***部分蔓延。在建筑物內(nèi)采取劃分防火分區(qū)這一措施，可以在建筑物一旦發(fā)生火災(zāi)時(shí)，有效地把火勢(shì)控制在一定的范圍內(nèi)，減少火災(zāi)損失，同時(shí)可以為人員安全疏散、消防撲救提供有利條件。自20世紀(jì)90年代末以來(lái)，我國(guó)建設(shè)了一批大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房、TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)生產(chǎn)用潔凈廠房，其潔凈室面積和防火分區(qū)面積均大大超過(guò)現(xiàn) 行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50073)、《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》(GB50016)規(guī)定的面積。由于上述電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的連續(xù)性和自動(dòng)化傳輸設(shè)施的貫通性，使?jié)崈羰?區(qū))無(wú)法進(jìn)行防火分區(qū)的分隔。《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定：若因電子產(chǎn)品生產(chǎn)的工藝要求使防火分區(qū)確不可分時(shí)，在采取可靠的強(qiáng)化消防措施后，此類潔凈廠房的防火分區(qū)最大容許建筑面積可以放寬。

　　安全疏散設(shè)計(jì)是建筑防火設(shè)計(jì)的一項(xiàng)重要內(nèi)容。潔凈廠房的安全疏散設(shè)施主要包括安全出口、疏散樓梯、走道和門等。潔凈廠房的安全疏散距離也應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》(GB50016)的規(guī)定。不過(guò)，由于電子潔凈廠房具有特殊性，《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》也有針對(duì)性地制定了規(guī)則。例如，高世代TFT-LCD廠房由于其生產(chǎn)設(shè)備體積大、連續(xù)性生產(chǎn)、自動(dòng)化傳輸?shù)纫蛩兀率挂獙?shí)現(xiàn)廠房?jī)?nèi)任一點(diǎn)到安全出口的距離符合GB50016的規(guī)定十分困難，并且此類廠房中操作人員較少，人員密度極低。因此，《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定：對(duì)于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm的 TFT-LCD廠房，當(dāng)潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/m 2時(shí)，其疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于120m。

　　潔凈室構(gòu)造和裝修須引起重視

　　潔凈室的構(gòu)造處理和材料選擇應(yīng)充分考慮不同的凈化級(jí)別、結(jié)構(gòu)形式和室內(nèi)建筑設(shè)計(jì)的要求。除一般的要滿足保溫隔熱、隔音防振等要求外，最重要的是要保證其氣密性和建筑材料表面不產(chǎn)塵、不積塵的要求。另外還要注意裝修及人體產(chǎn)生的靜電效應(yīng)。所有的構(gòu)造設(shè)計(jì)要力求簡(jiǎn)潔，盡量減少凹凸和不必要的裝飾，表面要具有不產(chǎn)塵、不聚塵和易清掃等特點(diǎn)。因此，對(duì)潔凈建筑來(lái)說(shuō)，科學(xué)的建筑構(gòu)造、室內(nèi)裝修比建造^***類型的生產(chǎn)廠房更加重要。

　　氣密性是廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的一個(gè)關(guān)鍵。氣密性不良會(huì)導(dǎo)致潔凈空氣的外泄和外界污染空氣的侵入，破壞潔凈室室內(nèi)環(huán)境的潔凈度。圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密質(zhì)量取決于墻、頂棚、門窗以及^***附加配件的構(gòu)造和施工，這些都是應(yīng)該引起重視的問(wèn)題。

　　建筑材料的產(chǎn)塵是一種不可忽視的污染源。實(shí)踐證明，即使在無(wú)碰撞的情況下，建筑材料表面也在不斷地向周圍空間散發(fā)微粒子，而這些都與材料的使用狀態(tài)、質(zhì)量、老化程度等有著直接關(guān)系。在電子工廠潔凈室內(nèi)，某些電子產(chǎn)品會(huì)因化學(xué)污染物在產(chǎn)品表面降落沉積從而影響產(chǎn)品質(zhì)量或在后續(xù)生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，造成次品以至廢品，所以電子工廠潔凈室裝飾材料(包括密封材料)不得采用對(duì)電子產(chǎn)品有影響的材料。在進(jìn)行潔凈室設(shè)計(jì)或選用裝飾材料時(shí)，應(yīng)與具體項(xiàng)目的業(yè)主方或生產(chǎn)工藝提供方進(jìn)行協(xié)調(diào)后確定。

　　另外，由于潔凈室內(nèi)的裝修用料一般均為高分子合成材料，而各種合成纖維織物和絕緣材料制成的工作服、工作鞋在動(dòng)摩擦下均會(huì)不斷產(chǎn)生靜電。物體帶靜電后，會(huì)產(chǎn)生力學(xué)、放電和感應(yīng)三方面的問(wèn)題，并會(huì)引起^***不良影響，危害極大。因此對(duì)于潔凈室的室內(nèi)裝修設(shè)計(jì)特別是地面設(shè)計(jì)的消靜電措施以及去靜電無(wú)塵工作服的研究等也應(yīng)引起極大的重視。