近日，美國的半導體行業調查公司VLSI Research發布了2019年全球半導體設備廠商的銷售額排名（速報值）。在前15家半導體設備公司中前8名與2018年的排名保持不變。不出所料，TOP15的廠商中，日本企業仍占大頭，此次共有8家日本企業排在前15之列，其中作為曝光設備廠家的尼康首次入圍。另外美國企業有3家，歐洲企業2家，還有一家在中國香港上市的新加坡企業，韓國之前唯一入圍的SEMS企業此次也落選TOP15之席。
此次的銷售額排名是以全球約350家半導體設備廠家為對象進行調查的，“銷售額”的定義范圍為：2019年1月-12月期間半導體生產設備的銷售額的匯總，雖然包括服務、支持方面的銷售額，但是OEM的設備銷售額、屬于銷售代理業務的銷售額不包括在內。關于回匯率，2018年采用的為110.4日元/美元，2019年采用的為109.0日元/美元。
注：上圖中第14名ASM Pacific Technology不屬于中國，其總部位于新加坡（圖源：limo）
2019年排名前15位的公司的銷售總額與去年同比下降了4％，減少至640億美元（約4,480億元人民幣），由2018年的兩位數增長率變為負增長。這是由于存儲市場的低迷影響了存儲制造商的資本投資。其中有9家公司的銷售額同比下降，從事于半導體后段工序設備的ASM Pacific Technology（ASM太平洋科技有限公司，SAMPT）的跌幅最大，可謂是創了紀錄。
半導體設備四強恒霸第一梯隊
美國的應用材料公司從2007年開始就一直占據首位，除2011年被全球最大的半導體光刻設備廠商ASML奪取外，該公司一直保持著領導地位。應用材料公司是材料工程解決方案的領導者，該解決方案用于生產世界上幾乎所有新芯片和先進顯示器。2019年應用材料的銷售額達134億美元，下滑3.9%。
排名第二的ASML已經逐漸逼近應用材料的市場規模，據ASML財報數據，2019年ASML凈銷售額為118億歐元，凈收入為26億歐元。據Statista研究部報道指出，截至2019年，ASML的大部分銷售收入來自亞洲，為95億歐元，而該公司在美國和歐洲、中東和非洲的銷售收入分別為20億歐元和3億歐元。自2014年至2019年，ASML的總凈收入每年都在增長，2014年，這家荷蘭跨國公司實現了約59億歐元的凈營收，到2019年，這一數字翻了一番，ASML創造了約118億歐元的收入。
ASML銷售收入來源（圖源：Statista研究部）
2014年至2019年ASML的凈收入（圖源：Statista研究部）
對于ASML而言，2019年是另一次增長之年，主要是由于對DUV和EUV的邏輯需求強勁，其EUV的訂單量為62億歐元，并見證了EUV在大批量生產中的采用。
ASML財報數據一覽（圖源：ASML）
東京電子的2019年排名與2018年一致，依舊是第三，2019年銷售額為95.5億美元，同比下滑12.5%。東電的產品幾乎覆蓋了半導體制造流程中的所有工序，主要產品包括：涂膠/顯影設備、熱處理成膜設備、干法刻蝕設備、沉積設備、清洗設備，封測設備。其中涂膠/顯影設備在全球占有率達到87%，在FPD制造設備中，刻蝕機占有率達到七成。
2019年LAM的銷售額與排名第三的東京電子接近，都在95美元左右，下滑12.2%。對于半導體公司來說，排名第四的LAM research是硅技術路線圖的根本推動者，該公司專注于蝕刻，沉積和清潔市場。在過去的幾年中，得益于3D NAND不斷增加的層數，以及代工廠/邏輯向10/7納米工藝節點的過渡，這需要更多的多個構圖步驟，這些與垂直縮放相關的技術嚴重依賴于先進的蝕刻和沉積工具，Lam Research在蝕刻和沉積領域的份額不斷增長。據悉，Lam有80%的收入和內存芯片有關（固態閃存和DRAM），LAM 的旗艦Kiyo，Vector和Saber產品主要出售給三星電子和臺積電等主要客戶。
以上前4家企業可謂是半導體設備界的第一梯隊，短期內其他公司難以撼動四強的位置，可能發生的變化就是四強之間排名互換。不過照目前情況來看，ASML憑借價值連城的EUV光刻機將有機會再次榮登第一寶座。
日企表現優秀，尼康漲幅最惹人眼
排在第五位的KLA 2019年的銷售額為46.6億美元，相比去年增長了10%，相比第一梯隊，KLA的銷售額為前四強的一半左右。不過在當今半導體檢測設備市場格局中，KLA是全球絕對王者。據SEMI統計，2018年KLA在前道的檢測和測量市場中占比過半、穩居行業第一，堪稱半導體檢測設備領域王者。KLA長期以來一直主導著檢查半導體光掩模和掩模版的設備市場。國際市場上的客戶占公司收入的75％以上。2019年2月，KLA以約32億美元的價格收購了以色列公司Orbotech。通過此次收購，KLA分散了收入基礎，并在PCB，FPD，封裝和半導體制造領域增加了25億美元的潛在市場機會。
日本的愛德萬測試排在第六位，2019年其銷售額為24.7億美元，下滑了4%。從1972年愛德萬正式跨足半導體測試領域，經過40多年的發展，公司已經成為全球后道檢測設備的領先企業。在存儲器測試臺細分市場領域，愛德萬以40%的市占率長期位居全球首位。愛德萬測試的主要產品包括自動化測試設備、SoC測試系統、內存測試系統、機電一體化測試系統等。愛德萬測試研發出了日本多個“第一款”測試設備，開創了日本測試界的先河。
在全球半導體清洗設備中具有較高占比的SCREEN依舊保持與2018年同樣的排名，排名第七。SCREEN的銷售額與愛德萬測試接近，為22億美元，比去年下降了1.2%。日本的SCREEN是世界上唯一生產線圖像制版器材、電子原件制造設備的綜合制造廠商，創立于1943年。早在2008年SCREEN就占據涂布機/顯影機，濕法蝕刻機和抗蝕劑剝離劑的LCD制造設備市場的全球最大的份額。2009年SCREEN在單晶圓清洗系統中獲得了全球60％以上的份額。
排名第八的Teradyne（泰瑞達）公司是唯一能夠覆蓋模擬、混合信號、存儲器及VLSI器件測試的設備提供商。泰瑞達2019年的銷售額比去年增長了4.1%，達到15.5億美元。2019年公司的測試臺市占率全球居首，又是SoC測試臺的絕對龍頭。Teradyne將制造業中最關鍵的兩個要素自動化：重復的手動任務和電子測試。在可靠性和性能至關重要的市場中，Teradyne的自動測試設備（ATE）可以加快新電子產品的上市時間。
在SEM測長等方面的設備中占有優勢的日立高科的排名提升到TOP9。日立高科與泰瑞達的銷售額也非常接近，為15.3億美元，同比上升9.3%。日立高科所提供的半導體制造設備主要有干蝕刻系統、CD-SEM和缺陷檢查。日立高科技42%的銷售額來自日本。日立擁有該公司近52%的股份。
ASM international（ASMi）也由2018年第13名提升到第10名，其2019年銷售額為12.6億美元，是前十五家增長較多的一家企業，比去年增長了27.2%。ASMi是晶圓加工半導體加工設備的領先供應商。它是一家全球性公司，位于14個國家/地區。ASMi率先在工業上使用了許多成熟的晶圓加工技術，包括光刻，沉積，離子注入和單晶圓外延。近年來，ASMi將原子層沉積（ALD）和等離子增強原子層沉積（PEALD）從研發一直帶到了先進制造商站點的主流生產。
ASM是ASM International NV集團的一部分，該集團還包括ASM Pacific Technology（ASMPT）。ASMPT在15家公司中跌幅最大，2019年銷售業績下滑了24.3%，銷售額為8.9億美元。由去年的第11位降落到第14位。ASMPT成立于1975年，總部位于新加坡，自1989年以來在香港聯合交易所上市，也正因此，VLSI將其看做是中國的設備廠商。ASMPT是用于晶片組裝和封裝以及表面安裝技術的半導體工藝設備的領先供應商，也是世界上唯一一家為電子制造過程中所有主要步驟提供高質量設備的公司，這些設備從用于芯片互連的載體到芯片組裝和封裝再到SMT。
最亮眼的要數尼康，2018年從事曝光設備的尼康還在TOP15之外，而在2019年一躍成為TOP11，在TOP15中尼康的進步最大！2019年尼康的銷售額達到12億美元，相比2018年實現了翻倍增長，高達117.8%。尼康成立于1917年，最早通過相機和光學技術發家，1986年推出第一款FPD曝光設備，如今業務線覆蓋范圍廣泛。
在FPD曝光設備領域，尼康和佳能兩家日本廠商占據主要地位，兩家也在不斷搶食FPD設備市場。據了解，佳能在生產電視機顯示屏方向的大型面板的曝光設備方面實力雄厚，而尼康的曝光設備則在用于智能手機顯示屏的中小型面板方面更具有優勢。佳能在2019年半導體設備廠商銷售額排名跟去年一樣，都排在第15，不過其銷售額遠低于尼康，僅為6.9億美元，比去年下滑9.5%。
此外，擅長于熱處理等設備的國際電氣（Kokusai electric）銷售業績下滑了23.5%，排名也從2018年的第九位跌落至12名。2019年7月，據彭博社報道，美國應用材料同意以約2500億日元（合22億美元）的價格從KKR＆Co手中收購Kokusai Electric。Kokusai Electric將作為Applied公司半導體產品部門的業務部門運作，并將繼續將總部設在東京。Kokusai專注于批處理或并行處理許多晶圓，特別是對于存儲晶圓。據介紹，其主要客戶包括三星電子公司，臺灣半導體制造公司和英特爾公司。
從事于半導體搬運系統的Daifuku（大福）相比2018年增長了13.9%，提升了一個名次，排名第13。大福與國際電氣的銷售額也比較接近，都在11億美元左右。大福的潔凈室存儲、搬運系統被廣泛應用于半導體、液晶等平板顯示器制造行業，在許多世界著名企業均有銷售。大福此前發布了2019年三個季度的財務數據，其訂單、銷售和營業收入主要是由于其在半導體和平板顯示器部門的投資減少。
韓國唯一一家設備企業SEMES落榜
另一方面，在2018年首次作為韓國企業成為TOP12的韓國SEMES受到韓國半導體廠家抑制投資的影響，2019年落選TOP15。韓國2019年無一家企業進入TOP15。SEMES成立于1993年，是半導體和FPD兩個業務為主的綜合設備廠商，于2004年建立TFT LCD設備生產為目的的第三工廠。Semes是韓國最大的預處理半導體設備與顯示器制造設備生產商，可稱其為韓國半導體設備廠第一大廠，主要生產清洗、光刻和封裝設備。
由于SEMES是韓國三星的子公司，因此被定義為“捆綁廠家（Captive Maker）”，不過近年來也開始了對外銷售、以謀求擴大銷售額。SEMES正逐步擴大業務到清洗、涂覆顯影劑（Coater Developer）、蝕刻（Etching）、CVD（Chemical Vapor Deposition、化學氣相沉積）、半導體后段工序設備的領域，力求實現半導體、FPD（Flat Panel Display）的綜合廠家的目標。
國產設備崛起有望
設備制造業是半導體產業的基礎，是完成晶圓制造、封裝測試環節和實現集成電路技術進步的關鍵。而半導體制造設備的市場一直由外商把持，國產設備廠商可謂舉步維艱。半導體設備產業屬于典型技術密集型行業，技術研發團隊是半導體設備企業的靈魂，研發投入是企業成長的核心驅動力。兩手都要抓，兩手都要硬才行。
據華泰證券研究報告指出，回看歷史，海外設備龍頭的技術發展歷程均離不開與全球一流晶圓廠的合作開發，技術協同和產品驗證至關重要。目前中芯國際、長江存儲、合肥長鑫等本土領軍企業正分別在邏輯電路芯片、3D NAND、DRAM存儲芯片領域布局先進制程產能且技術逐步成熟，為國產設備提供了驗證試用平臺和進口替代機會。
加之本土設備產業鏈格局已初步形成，一些優勢企業已初步具備進口替代能力。能夠進入主流客戶供應體系并契合未來工藝方向的優勢企業主要包括：中微公司（刻蝕機供應國內外一線晶圓廠）、北方華創（產品品類覆蓋廣的本土裝備龍頭）、長川科技（探針臺、數字測試機新品蓄力）、晶盛機電（硅片制造設備），上海微電子（光刻設備）、沈陽拓荊（薄膜沉積設備）、中科儀（真空獲得設備、薄膜沉積設備）、盛美半導體（清洗設備）、華海清科（CMP設備）、南京晶升能源（硅片制造設備）等。
華泰證券認為，受益于5G商用推動全球存儲芯片擴產及中國大陸整體晶圓、封測產能擴大，其中刻蝕和薄膜沉積設備的需求受益程度較高。中國半導體設備市場及本土企業的向上拐點或已到來，且成長韌性強于全球，2020年有望實現領先于海外的更快增長。希望有朝一日，在全球半導體設備銷售TOP15的榜單上，能有中國本土企業的一席之地。
作者：杜芹DQ
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